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  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="固相化學反應"


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    電泳反應式鑽石線鋸製程應用於太陽能矽基板加工之研究
    • /103/ 碩士
    • 研究生: 陳冠霖 指導教授: 陳炤彰
    • 多年以來太陽能矽基板為重要之替代能源,但矽基板加工效率和耗能問題一直是綠能產業無法普及因素之一,本研究首次提出傳統固定磨料(Diamond Wire Sawing, DWS)結合游離磨料(Slurr…
    • 點閱:271下載:7

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    四旋轉軸單晶矽晶球拋光加工機設計與研拋製程參數分析研究
    • /111/ 碩士
    • 研究生: 林堉鋐 指導教授: 陳炤彰
    • 澳洲聯邦科學暨工業研究院與德國聯邦物理技術研究院使用 Cup-type球拋機搭配氧化鋁磨料研光和粗拋與酸性的二氧化鈦拋光液精拋製出單晶矽晶球,並在2019 成為最新的國際質量原器。本研究自行設計四旋…
    • 點閱:162下載:0
    • 全文公開日期 2025/02/15 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/02/15 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/02/15 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    選擇性電泳沉積之反應式輔助複線式鑽石線鋸於單晶矽晶圓加工研究
    • /109/ 碩士
    • 研究生: 陳冠諭 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶矽晶圓為半導體的重要元件,近年來,電子產品被大量使用而導致矽晶圓供不應求,而如何有效率增加矽晶圓的產量是一直以來關切的議題。本研究將延續先前電泳反應式鑽石線鋸製程,並研發一款選擇性電泳沉積(Se…
    • 點閱:227下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/20 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/20 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/20 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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